长春高纯气体管路施工

高纯气体管道（输送99.99%+乃至6N超纯气体的专用管路，常用于半导体、实验室、医药、光伏）

一、材质与管件

1. 316L不锈钢EP（电解抛光）管，BA（光亮退火）用于次高纯；EP内壁Ra≤0.25μm，杜绝吸附与颗粒残留；严禁普通碳钢/镀锌管；强腐蚀特气可配哈氏合金/钛材；

2. 阀门：隔膜阀、波纹管阀（低死体积），禁用普通球阀；接头用VCR金属面密封，少用螺纹；

3. 必需配置：高精度过滤器（0.003–0.01μm）、调压阀、止回阀、吹扫口、放散管。

二、设计与施工

1. 路径最短、弯头最少、无盲管；坡度敷设便于吹扫；穿墙/楼板用预埋套管，管段无焊缝；

2. 焊接用全自动轨道氩弧焊+内外充氩保护，避免氧化皮；特气（如SiH4、NH3、Cl2）常用双套管；

3. 全程在洁净室（Class5/6）加工、清洗，用18MΩ超纯水+IPA，封口防二次污染；

4. 分区独立：可燃/有毒/惰性气体系统物理隔离、独立排风接地。

企业名片