半导体等离子设备 深圳真空等离子厂家

2.1 产品概述

MKS-VAC200 真空等离子清洗机(Plasma cleaner)，气体通过激励电源离化成等离子态，等离子体作用于产品表面，清洗产品表面污染物，提高表面活性，增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。

2.2 产品优势

v 产品放置治具灵活多变，可适应不规则的产品。

v 水平电极设计，可满足软性产品处理需求。

v 低耗能、耗气产品。

v 便捷的收放板方式。

v 真空系统集成，占地面积小。

v 合理的等离子反应空间，使处理更均匀。

v 集成的控制系统设计，使操作更方便。

2.4 产品规格

企业名片