SIMCO-ION 5635离子棒

简 介

5635型MP离子风棒，是对应用在先端半导体制造工程等100nm以下的微小型颗料除静电器。

特点：

1 采用无与伦比的电极材料单晶硅的优势，避免超低颗料特性的电极材料的重金属污染的风险。

2通过独特的MP（脉冲调制）方式，可以有效的发挥离子除电性能。

3 平衡的电位，即使是在距100mm的距离也可用使用的特性及静电杆长且离子平衡度好。

4通过智能控制电路，可自动管理离子发生状态及离子平衡度。

5 1/4圈可以拆卸更换电极，有助于减少维护工时。

6 电位波动小的MP方式的特性，简化了组装。另外，电位波动小可以保持离子平衡度在管理的基准内。

7 设定了适合半导体前工序EFEM用的除静电棒长度。

8内置24V DC驱动控制器的小巧紧湊型设计。

9 可用于全球高层次网络。

产 品 规 格

输入电压24V DC + / -10％输出电压可调至约13.5kv 

安装距离100毫米?1000毫米（无空气净化）离子生成方式电晕放电法

PM（脉冲变调）方式 变动频率　1-33 Hz

离子平衡度自动平衡调节方法

<+/-10V内离子风棒直下 根据位置的不同会有差异<+/-10v

(600 mm距離）电极单晶硅电极  可更换吹气清洁干燥的空气或氮气气压力310Kpa臭氧产生量<0.05PPM（24时总值）信号输出报警IO  电极输出

尺寸高78mm*宽34mm*t长（如下值）

450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750

/ 1900/2050/2200/2350Mm外观ABS树脂

企业名片