ISO 5级洁净室中,建议使用广泛使用离子静电消除器消除静电;洁净室中人员须穿戴无尘服,无尘服覆盖其身体、头部、面部、手和眼睛。在工作站和生产场地,所有添置的离子设备能够被观察到。在洁净室内尽可能不使用可能产生污染的混炭物质和含有铵基的抗静电剂。由于具有不依赖吸湿和非极性溶剂中清洗不丧失防静电特性的优点,固有导电性的聚合物在洁净室中广泛使用。物品必须先进行清洗,并使用双层包装,通过风淋室进入ISO 5级洁净室。手套覆盖手臂,无裸露皮肤。使用氨基抗静电剂的材料中的氨基物可能污染器件表面,除非不含有此类抗静电剂,否则限制使用乙烯基的抗静电台垫。不能够使用非净化的普通纸张和笔。厂家需要设有一名或多名专职净化控制工程师,处理ESD问题和净化问题。体积过大不能用双层包装袋包装的设备必须使用70%非极性清洁剂擦拭或用去离子水清洗后才能进入洁净室。