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1 金属台尺寸:408×308mm
2 外形尺寸:890×620×1077mm
3 运动行程:
X坐标行程 250mm;
Y坐标行程 150mm;
Z坐标行程 250mm(调焦)
4 摆动范围:+-15(绕Y轴旋转)
5 仪器重量:200Kg
6 X、Y、Z数显解析度:0.0005mm
7 X、Y坐标示值误差:≤(3+L/200)μm
CDN-533A三相五线电源浪涌耦合/去耦网络
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