Adixen ATH-M 系列 磁悬浮涡轮分子泵

ATH-M 系列

阿迪克森磁悬浮涡轮分子泵

五大防腐特性

·         自动平衡系统

·         嵌入式75加热系统

·         5轴控制

·         惰性气体吹扫

·         逆向动力密封（适用于ATH400与ATH1300型）

高流量应用    

     ATH 400 M, ATH 1300 M,ATH 1600 M ATH2300 and ATH 2800 MT型是专为高压、高流量的半导体工业以及其他薄镀膜工艺而设计。

紧凑而现代的设计

·         可调节转速以优化抽气时的参数

·         高平均无故障时间

·         使用成本低

·         低噪音低振动

·         无需电池

应用

·         玻璃镀膜

·         微处理系统加工

·         离子束矫正

·         电子显微镜

·         空间模拟腔

·         粒子加速器

·         半导体工艺(刻蚀, CVD, 离子插入)

·         镀膜与薄镀膜工艺

·         离子铣

·         以及许多研发实验

企业名片