高性能气体净化器

产品特点：

催化剂技术/高温吸气剂技术

常温使用/高温使用

出口气体各杂质含量小于1ppb

EP316L不锈钢管件

VCR气体接头

内置0.003微米过滤器

饱和后可由原厂再生，循环使用

应用范围：

半导体工艺设备，如气相外延，金属有机气相外延

集成电路制造

吹扫气体及零点气体纯化

科研和产品开发

企业名片