CT-BW燃烧水洗废气处理设备

CT-BW废气处理设备使用点对点废气减排系统是应用于光伏、半导体以及其它相关产业的化学气相沉积和刻蚀等领域的一种高性能系统。随着新工艺引进了具有高腐蚀性气体且逐渐增加气体负荷量，废气减排技术需要进一步改善。 CT-BW不仅满足此要求，且符合国际安全标准。CT-BW具有许多优点，例如，针对化学气相沉积、蚀刻制程的废气（尤其是全氟化合物、各类固体、气态反应的副产物）有着高破坏除去效率（DRE）。 该系统的设计是极可靠的，即使在严苛的制程条件下仍具有资源节约性能。 独立的功能部件（例如，燃烧头、燃烧腔、水洗腔、废气进口、冷却系统）可以根据各种应用而灵活地安装。 我们延长维护周期和*大化正常运行时间的秘诀是─客户量身定制的废气减排系统

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