配送R-14制冷剂R14氟利昂冷媒

R-14制冷剂（四氟化碳，四氟甲烷，CF4）

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R-14主要用途

R-14作为一款特种超低温制冷剂，主要应用于要求温度非常低的深冷设备中（包括科研制冷、医用制冷等），R14同时也是超低温配合冷媒的重要组分。四氟化碳（四氟甲烷）是目前微电子工业中用量*大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

R-14物化性质

冷媒名称 R-14

分子量 88.0

沸点（1atm），℃ -128

临界温度，℃ -45.67

临界压力，kPa 3740

饱和蒸气压（25℃），kPa 3650（-45.6℃）

汽化热/蒸发潜热（沸点下，1atm），kJ/kg -

破坏臭氧潜能值（ODP） 0

全球变暖潜能值(GWP，100 yr) 5700

ASHRAE安全级别 A1（无毒不可燃）

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